如何選擇真空計

更新時間：2024-06-14

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在測量真空度時，有壓力接近大氣壓的地方，也有壓力達到超高真空的地方，所以不可能僅用一種真空計來覆蓋。即使考慮到殘余氣體的成分，真空設備中也存在各種氣體。其中，對真空計產生負面影響的典型是油蒸氣、氧氣、水蒸氣等有機蒸氣。在低真空中，空氣常常殘留，但在中真空和高真空中，油蒸氣的比例增加。此外，有許多真空設備主要處理水蒸氣，例如用于冷凍干燥的真空設備。如上所述，真空計的使用條件多種多樣，因此在選擇時，除了測量壓力范圍和目標氣體外，還需要檢查以下項目。 1.檢查是否可以在您想要測量的壓力范圍內使用，并檢查導致測量極限的原因。 2、真空計是否被可能測量的氣體污染或損壞？ 3. 準確度夠嗎？米大嗎？原則上有什么問題嗎？ 4、真空表對氣體狀況有影響嗎？被測氣體是否有可能因反應而熱分解或成分發生變化？ 5. 可以測量總壓嗎？靈敏度是否因氣體類型而異？ 6. 連續指令還是電氣指令？可以得到電力輸出嗎？ 7. 響應時間短嗎？ 8. 穩定性、再現性、可靠性和壽命是否足夠？ 9、安裝、操作、維護、管理是否方便？ 10. 市售產品的可獲得性、獲取難度、價格等。

真空標準和可追溯性

真空度校準裝置RT-8SV型

日本的真空標準（初級標準）是安裝在日本產業技術綜合研究所的光波干涉標準氣壓計（大氣壓～10 ² Pa，不確定度±0.7 Pa）、安裝在國立電子研究所的標準氣壓計技術。使用安裝的標準 McLeod 真空計（1.3 至 1.3 x 10 ^-2 Pa，不確定度 ± 2%）作為參考。使用標準麥克勞德真空計的校準是對日本真空協會要求的亞標準電離真空計燈泡VS-1進行的，該校準真空計具有二級標準（工作壓力范圍2.7×10 ^-1 ~1.3× 10 ^-4 Pa，不確定度±3%），是目前的真空計。這通常用作標準并用于校準其他實用真空計。 JISZ8750中詳細說明了校準方法，對于10 ^-2 Pa至10 ^-7 Pa左右的應用，使用VS-1校準的BA真空計可從制造商處購買。如果按照這樣的方式校準靈敏度，則實際使用的每臺真空計的靈敏度都將達到標準。當建立這樣的系統時，可追溯性被評估為已建立。

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如何選擇真空計

真空標準和可追溯性