安川變頻器應用于半導體真空泵行業

更新時間：2024-06-20

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半導體是指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。我們日常生活中的電子產品，如計算機、等當中的核心單元都和半導體有著極為密切的聯系。

在半導體制造的多個工藝環節中，包括刻蝕、鍍膜等等。為了提高半導體制造過程的精度和均勻性，半導體工藝必須在極度受控的真空環境中運行。而獲得真空環境所需的設備即為真空泵。

今天要給大家介紹的是安川變頻器產品在真空泵設備中的應用。

半導體用干式真空泵設備

半導體成膜工藝

半導體用真空泵一般容易存在啟動、加速響應慢，抽速不夠穩定；運行效率不高；開放大氣時易發生過載、過流故障而停機；面對雷雨季節及供電環境不好時，易因瞬時停電或電壓暫降而造成真空泵停機，造成半導體生產損失。

采用安川變頻器后設備的特性

1.穩定性

高響應性，抗沖擊負載能力強，使真空泵穩定運行。

2.高啟動轉矩

轉矩極限可根據速度切換，使泵在啟動及加速過程更快，更穩定。

3.高效性

應對半導體不同工藝，通過專用功能，防止過載前提下保證真空泵高效運行。

4.節能

可高效、穩定驅動配置PM電機的真空泵，更加節能。

5.高信賴性

即使發生瞬時停電或電壓暫降，可使真空泵保持輸出，電壓恢復后繼續運行。

安川變頻器在國內外的真空泵設備上廣泛應用，業內度高。能夠使半導體用真空泵在不同的半導體工藝下，穩定、高效運行，滿足客戶需求。

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