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【小王子上新】UPC系列UPC-4CW2-C150H

更新時間：2025-02-17      瀏覽次數：226

【小王子上新】UPC系列UPC-4CW2-C150H

應用
任何壓力都可以通過電信號設定。
當多個質量流量連接到一條管線時，壓力會被調整，以使氣體流量的快速波動不會影響其他質量流量。
可用作晶圓背面冷卻的控制器。
用于下游壓力控制。

特征



●工作原理：內置壓力傳感器，保持壓力恒定。
●可通過電信號設定任意壓力。
●在質量流量控制器的上游連接時，可以進行非常穩定的流量控制。
●當多個質量流量控制器連接到一條線路時，氣體流量的突然波動可能會影響其他質量流量控制器。在這種情況下，使用 UPC 系列可以防止這種影響（下游壓力控制型）。
●UPCUS（上游壓力控制型）保持MO-CVD等液源的內部壓力恒定，提高汽化量的穩定性。
●可用作晶片背面冷卻的控制器。還提供帶流量監控器的高溫型（150°C、250°C）。
●可用于從半導體、平板顯示器、太陽能電池板等技術產業到一般產業的廣泛領域的壓力控制。
●兼容DeviseNet TM接口（請注明）。符合 RoHS 標準：本產品符合 RoHS 規定并且是環保的。

規格
模型UPC
（下游壓力控制器）		FCST1050(M)
ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
壓力范圍FS 13.3kPa abs.(100Torr)FS 150/300/500kPaFS 150/300/500kPa
控制壓力范圍1 到 100%1 至 100% *1
控制閥CV值-L型：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03
壓力調節系統
（自動調零后）		1～40%：±0.2%FS
40～100%：±0.5%SP		FS 150kPa abs. [1 至 40%：±0.2%FS，40 至 100%：±0.5%SP]
FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS，20 至 100%：±0.5% SP]
供氣壓力范圍0 至 200kPaG～897.3kPaG-
耐壓性200kPaG1MPaG
外部泄漏＜1.0×10 -10 Pa?m3 /sec
使用溫度范圍0～50℃（系統保證溫度范圍：15～35℃）*2
電源電壓、電流消耗+15VDC：120mA，-15VDC：120mA
DeviceNet：+11 至 25VDC，4.0W
壓力設定/輸出信號0-10VDC/0-10VDC0-5VDC/0-5VDC
接液部分材料SUS316L，鎳鈷合金SUS316L，鎳鈷合金，FS9
連接配件/尺寸1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)



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